拋光液中PH值參數(shù)是衡量一種液體性能是否穩(wěn)定的重要因素。很多拋光液使用者并沒(méi)有清楚的意識(shí)到這一點(diǎn)，他們往往對(duì)拋光液內(nèi)的粒度分布，粒徑大小，均勻性，配比等感興趣，而忽略了一個(gè)重要的因素-PH值對(duì)整個(gè)液體狀的的影響。

　　在化學(xué)性質(zhì)的液體中，PH值的大小影響著液體性能的穩(wěn)定。拋光液一般在微酸或者微堿的時(shí)候，對(duì)工件的拋光效果最佳，所能達(dá)到的表面粗超度最小。當(dāng)PH值偏堿性時(shí)，粗超度變大。所以在配置這種液體的時(shí)候，我們不能忽略這一點(diǎn)，一定要反復(fù)試驗(yàn)，取得一個(gè)最佳穩(wěn)定值。

　　拋光液的PH值是變化的。這是因?yàn)閽伖庖簳?huì)隨著時(shí)間的變化而變化。由于某些工件在拋光時(shí)產(chǎn)生水解作用, 在實(shí)際拋光過(guò)程中拋光液的pH 值會(huì)隨拋光時(shí)間不斷變化。在每次添加拋光液后, pH 值的變化最為劇烈。因此一開(kāi)始先每隔15s 測(cè)量一次, 之后每隔1min 測(cè)量一次, 從而可得出不同初始pH 值的拋光液在拋光過(guò)程中pH 值的變化規(guī)律。在對(duì)不含有堿金屬氧化物, 不會(huì)與水產(chǎn)生水解反應(yīng), 在拋光過(guò)程中拋光液的pH 值基本保持不變, 所以其拋光方法也不同。

　　當(dāng)拋光液的PH值過(guò)小時(shí)，溶液呈酸性狀態(tài)，一般拋光效果不太明顯;而當(dāng)溶液的PH值過(guò)大時(shí)，溶液呈堿性狀態(tài)，腐蝕的效果往往比酸性效果好。

　　拋光液的化學(xué)拋光過(guò)程其實(shí)就是溶液對(duì)拋光元件表層的化學(xué)腐蝕作用，主要成分是二氧化硅，占整個(gè)比例的百分之七十，其余成分為堿金屬氧化物，當(dāng)拋光液為中性時(shí)，主要的化學(xué)作用表現(xiàn)為2InSb+6[O]→In2O3+Sb2O3，表面的拋光效果似乎不太明顯。

　　當(dāng)拋光液的PH值為9.6時(shí)，拋光液的機(jī)械作用遠(yuǎn)大于化學(xué)作用，去除速率比較大，導(dǎo)致拋光后拋光片表面產(chǎn)生高損傷層，粗糙度比較大;當(dāng)拋光液的 pH值增大為10.84～11.34時(shí)，機(jī)械作用和化學(xué)作用達(dá)到一種對(duì)等狀態(tài)時(shí)，此時(shí)化學(xué)作用的均勻性好，使得表面張力小，質(zhì)量處理的一致性好，可以得到良好的表面拋光效果;當(dāng)pH值大于11.67時(shí)，SiO2水溶膠在強(qiáng)堿的作用下，生成易溶于水的硅酸氨，使得硅溶膠中的SiO2顆粒不能起到磨削作用，變成透明的液體，此時(shí)機(jī)械作用基本失效，拋光以化學(xué)作用為主，表面蝕坑增多，使得表面粗糙度重新增加。

　　拋光液PH值是拋光元件表面粗糙度的重要影響因素，他是拋光元件化學(xué)拋光的重要組成部分。事實(shí)證明，當(dāng)拋光壓力、溫度等外界因素相匹配時(shí)，拋光時(shí)的最佳PH值應(yīng)控制在11.25左右，這時(shí)候化學(xué)拋光和機(jī)械拋光的作用相平衡，拋光效果最佳!

　　所以，除了要對(duì)液體初始PH值進(jìn)行檢測(cè)試驗(yàn)外，我們還需對(duì)拋光液會(huì)隨時(shí)間的變化而變化進(jìn)行監(jiān)測(cè)。觀(guān)察它變化的規(guī)律，找出每個(gè)工件適合拋光的最佳狀態(tài)，這樣才能配制出高精密高效率的拋光液出來(lái)