作為一種常用的超精密加工方法,超精密平面研磨加工技術(shù)被用來獲得極高的零件面型精度(如平面度、平行度等)和消除加工變質(zhì)層。超精密平面研磨通常包括研磨盤、研磨液、磨粒、工件等四個部分,在研磨加工中,研磨盤的表面形貌能在一定程度上“復(fù)制”到工件表面上,同時,其面型精度對被加工件質(zhì)量有重要的影響。

   為獲得較好的研磨效果,國內(nèi)外許多學(xué)者對研磨盤材料的選擇、研磨盤結(jié)構(gòu)的設(shè)計和研磨盤表面的修整等方面作了深入的研究。在研磨加工中,必須通過在線修整,來保持研磨盤的平面度。可以通過修正環(huán)的旋轉(zhuǎn)來實時連續(xù)修正研磨盤的平面度,或者采用車削修整的方式對研磨盤進(jìn)行修整。對研磨盤材料而言,既要求其有較高的硬度,防止承受加載壓力時自身的變形過大,同時,又要求其能夠保證不受到任何來自磨盤的刮傷或劃痕,并具有比較高的研磨效率,所以,研磨盤必須又有良好的“嵌砂”能力。綜合這兩種要求,研磨盤材料一般選用鑄鐵和銅。不同磨料和不同材料磨盤的研磨效果是不同的,應(yīng)尋求對應(yīng)于不同工件的最佳磨料及磨盤。