對氧化鈰拋光機(jī)理的解釋主要有以下幾種學(xué)說：
（1）化學(xué)學(xué)說，即拋光過程是水、拋光劑、拋光模材料和玻璃之間化學(xué)作用的結(jié)果；
(2)純機(jī)械作用學(xué)說，即拋光是研磨過程的繼續(xù)；
(3)流變作用學(xué)說，即摩檫熱使玻璃表面產(chǎn)生塑性變形和流動，或者是熱軟化以致熔融而產(chǎn)生流動，拋光過程是玻璃表面分子重新分布而形成平整表面的過程；
(4)機(jī)械、物理化學(xué)學(xué)說，即拋光過程是一機(jī)械的、物理化學(xué)作用的綜合過程；
  許多專家認(rèn)為，拋光是一機(jī)械的、物理化學(xué)的、化學(xué)的綜合，其中機(jī)械作用是基本的，化學(xué)作用是重要的，而流變現(xiàn)象是存在的。氧化鈰之所以是極有效的拋光用化合物，是因?yàn)樗苡没瘜W(xué)分解和機(jī)械摩擦二種形式同時拋光玻璃。在拋光過程中，氧化鈰拋光粉有兩種作用，即機(jī)械作用與膠體化學(xué)作用，這兩種作用是同時出現(xiàn)的。拋光的初始階段，是CeO2去除表面凹凸層的過程，因而呈現(xiàn)出新的拋光面，這時機(jī)械作用是主要的。同時，由于拋光混合物中有水，在拋光過程中形成H3O+離子，在玻璃表面H3O+離子與Na+離子相互交換而與玻璃形成水解化合物；同時由于CeO2拋光劑具有多價的性質(zhì)，Ce（III）/Ce（IV）的氧化還原反應(yīng)會破壞硅酸鹽晶格，并通過化學(xué)吸附作用，使玻璃表面與拋光劑接觸的物質(zhì)（包括玻璃及水解化合物）被氧化或形成（…Ce-O-Si… ）絡(luò)合物而被除去