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微表面加工方式
發(fā)布日期:2017-01-04 11:09:29
微結(jié)構(gòu)表面可以用以下方式加工:金剛石精密車削、激光束加工、模壓加工、蝕刻技術(shù)、LIGA 技術(shù)、磨料噴射加工、微細(xì)電火花加工。近年來許多論文報(bào)道能夠用激光束加工微結(jié)構(gòu)表面,但是其加工效率和制造精度低、加工范圍小;YAG 激光車削也許能在陶瓷上加工微槽陣列,但是這些槽的表面非常粗糙而且形狀還不規(guī)則;蝕刻技術(shù)加工微形陣列的均勻性尚未可控,微結(jié)構(gòu)陣列只能大量、隨機(jī)地分布在微米級空間表面;LIGA 技術(shù)雖然能夠?qū)崿F(xiàn)微結(jié)構(gòu)的精密加工,但其過于昂貴的加工成本使得一般單位無法利用該技術(shù)加工微結(jié)構(gòu)。利用成形磨削的方法,用特定形狀的砂輪通過控制磨削過程可以加工出滿足要求的微結(jié)構(gòu)表面。該方法最早是在 1989 年提出來的,這種微磨削加工微結(jié)構(gòu)表面的方法不僅成本低,而且效率還非常高。1994 年,利用這種成形磨削方法成功加工出氣體潤滑的陶瓷制動盤。因而,在嚴(yán)格保證光學(xué)元件表面質(zhì)量的前提下對硬脆材料進(jìn)行加工,微磨削技術(shù)體現(xiàn)出了其他加工方法難以比擬的優(yōu)勢,例如微磨削加工技術(shù)可加工的零件范圍很廣,如時(shí)鐘諧振器、發(fā)動機(jī)和軸承的陶瓷零件、鍺非球面光學(xué)鏡片和光纖光柵等元件。
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