拋光液

拋光液一般包含磨粒、氧化劑、絡(luò)合劑、表面活性劑、磨料、pH調(diào)節(jié)劑、腐蝕抑制劑等成分，各種添加劑的選擇和含量對拋光效果都會產(chǎn)生很大的影響。拋光液具有技術(shù)含量高、保密性強、不可回收等特點，這使其成為CMP技術(shù)中成本最高的部分。上面我們提到，CMP材料是晶圓制造的核心耗材，占晶圓制造成本的7%，其中拋光液和拋光墊是最核心的材料，占比分別為49%和33%。拋光液是CMP技術(shù)中的決定性因素之一，其性能直接影響被加工工件表面的質(zhì)量以及拋光加工的效率。

01單一磨粒拋光液

單一磨粒拋光液是指在拋光液中只含有納米二氧化硅(VK-SP50F)、納米氧化鋁(VK-L200F)、納米氧化沛(VK-CE30F)、納米二氧化錯(VK-R30F)、納米金剛石等眾多常用磨粒之一。其中納米SiO2、納米Alzo3、納米Ceo2是應(yīng)用最廣泛的。

(1)納米Sio2 (vK-SP5OF)

納米SiO2 (VK-SP5OF）具有良好的穩(wěn)定性和懸浮性、低黏度和低硬度(平均布氏硬度為7）等特點，被廣泛應(yīng)用為拋光液磨料。然而，針對S iO2表面、內(nèi)部特性及其對拋光性能的影響機理尚不清楚。盡管使用siOz作為拋光液磨粒得到了廣泛的研究和應(yīng)用，但是，SiOz易團聚、不適合長期保存、硬度較低，導致拋光速率無法突破高效率瓶頸等問題還是沒有從根本上解決。此外，拋光液中的強酸、強堿和強氧化劑等化學試劑不僅對設(shè)備存在嚴重的腐蝕，對實驗人員的身體健康也存在著很大的威脅。

(2)納米Alz03 (VK-L200F)

由于納米Al2O3 (VK-L200F）的兩性化學性質(zhì)，Al2O3拋光液分為堿性拋光液和酸性拋光液，與堿性拋光液相比，酸性拋光液對設(shè)備的腐蝕更為嚴重，所以堿性拋光液比酸性拋光液應(yīng)用更廣泛。堿度對堿性拋光液性能起著非常重要的作用，經(jīng)市場調(diào)研，pH值為12以上可以提高材料的去除率，但是過高的堿度同樣會對設(shè)備造成嚴重腐蝕。因此，制備低堿性Al2O3拋光液已成為一個新的課題。

AlzO3磨粒在水溶液中由于靜電力等作用容易團聚成大顆粒膠團，出現(xiàn)絮凝分層等現(xiàn)象，導致拋光液穩(wěn)定性較差。因此，使用Al2O3作為拋光液磨粒，需要在拋光液中加入各種各樣穩(wěn)定劑和分散劑，使得對拋光機理的研究更加復(fù)雜，同時拋光液的成本也隨之增大。

02混合磨粒拋光液
由于單一磨粒各方面性能的局限性，使用單一磨粒拋光液出現(xiàn)了很多難以解決的瓶頸問題。因此，很多研究人員轉(zhuǎn)而研究混合磨粒拋光液和復(fù)合磨粒拋光液，致力于解決化學機械拋光過程中加工效率和加工質(zhì)量的平衡問題。

如將Sio2 (VK-SP50F，平均粒徑50nm）和Al2O3(VK-L20OF,平均粒徑220nm)混合磨粒按照合適質(zhì)量比制備拋光液，有效地提高了拋光的效率。也有研究人員將質(zhì)量分數(shù)分別為4%和10%的SiOz和CeOz混合作為拋光液磨粒，在相同試驗條件下，達到同等表面質(zhì)量，混合磨粒的效率大約是傳統(tǒng)單一磨粒的8倍?；旌夏チτ谔岣邟伖庑视泻艽蟮拇龠M作用，但對拋光質(zhì)量的影響不是很明顯。

除了選對拋光磨粒以外，合理的添加pH值調(diào)節(jié)劑、氧化劑以及分散劑等添加劑，使拋光過程中化學作用和機械作用動態(tài)一致時，才有可能獲得高的材料去除率的同時獲得好的拋光表面質(zhì)量。因此，研究拋光液的組成原則對于合理配制不同材料的拋光液和優(yōu)化選擇拋光工藝參數(shù)，對于完善CMP拋光理論具有重要作用。