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研磨拋光中常見(jiàn)的拋光皮有哪些種類(lèi)?
發(fā)布日期:2021-07-17 10:41:59
研磨拋光中常見(jiàn)的拋光皮有哪些種類(lèi)?
在我們實(shí)際研磨拋光過(guò)程中,研磨拋光主要講的是化學(xué)機(jī)械拋光(CMP: Chemical Mechanical Polishing)。CMP 是化學(xué)的和機(jī)械的綜合作用,在一定壓力及拋光漿料存在下,在拋光液中的腐蝕介質(zhì)作用下工件表面形成一層軟化層,拋光液中的磨粒對(duì)工件上的軟化層進(jìn)行磨削,因而在被研磨的工件表面形成光潔表面。
拋光液中的腐蝕介質(zhì)與被拋光表面材料發(fā)生了化學(xué)反應(yīng),生成很薄的剪切強(qiáng)度很低的化學(xué)反應(yīng)膜,反應(yīng)膜在磨粒磨削作用下被去處,從而露出新的表面,接著又繼續(xù)反應(yīng)生成新的反應(yīng)膜,如此周而復(fù)始的進(jìn)行,使表面逐漸被拋光修平,實(shí)現(xiàn)拋光的目的。
拋光皮的分類(lèi):
根據(jù)拋光皮磨料填充、材質(zhì)、表面結(jié)構(gòu)情況,共分為三大類(lèi)
按磨料填充分為:無(wú)填充磨料和有填充磨料拋光皮
無(wú)填充磨料的拋光皮,在拋光過(guò)程中的相比較拋光工件光圈穩(wěn)定。
有填充磨料的拋光皮,含氧化鈰拋光皮和含氧化鋯拋光皮。
氧化鈰拋光皮:較能提高拋光速率;
氧化鋯拋光皮:較能提高被拋光工件的光潔度
按材質(zhì)的不同分為:不織布(無(wú)紡布)磨皮、發(fā)泡聚氨酯磨皮和阻尼布磨皮。
按表面結(jié)構(gòu)分為:有開(kāi)槽和不開(kāi)槽的拋光皮;
拋光皮的開(kāi)槽種類(lèi):
拋光皮的作用:
1.把拋光液有效均勻地輸送到拋光皮的不同區(qū)域;
2.從被加工表面帶走拋光過(guò)程中的殘留物質(zhì)、碎屑等,達(dá)到去除效果;
3.傳遞和承載加工去除過(guò)程中所需的機(jī)械載荷;
4.維持拋光皮表面的拋光液薄膜,以便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行;
5.保持拋光過(guò)程的平穩(wěn)、表面不變形,以便獲得較好的產(chǎn)品表面形貌。
拋光皮不同材質(zhì)和制造工藝介紹:
1、不織布磨皮
薄狀聚酯纖維層疊后,用針?lè)磸?fù)撞擊使纖維結(jié)合在一起使其成為毛氈狀,并把它浸在聚氨樹(shù)脂或乳膠(SBR NBR等橡膠)中,然后切片,拋光,完成最終產(chǎn)品。
2、聚氨酯硬質(zhì)磨皮
聚氨酯預(yù)聚物和硬化劑(增鏈劑)、發(fā)泡劑按照規(guī)定量混合后,注入定型容器中做成塊狀,然后通過(guò)切片機(jī)加工成最終片狀磨皮。
3、阻尼布磨皮
聚氨酯樹(shù)脂和發(fā)泡添加劑顏料(炭黑)等混合后放入水中凝固,干燥成薄膜狀。然后通過(guò)拋光加工,粘上基材和雙面膠得到最終產(chǎn)品。
拋光皮性能分析:
影響拋光皮性能的因素:
內(nèi)部因素:
硬度—拋光皮的硬度決定保持面形精度的能力;
壓縮比—壓縮比反映拋光皮的抗變形能力;
涵養(yǎng)量—拋光皮的涵養(yǎng)量是單位體積的拋光皮存儲(chǔ)拋光液的質(zhì)量;
粗糙度—表面粗糙度是拋光皮表面的凹凸不平程度;
密度—密度是拋光皮材料的致密程度。
外部因素:
CMP是由運(yùn)動(dòng)學(xué),力學(xué),流體力學(xué),化學(xué),摩擦,磨耗等各種復(fù)雜作用來(lái)移除材料表面。
影響拋光皮性能的外部因素主要有拋光液的成份&濃度、拋光粉的粒徑、壓力、速度、時(shí)間、溫度等。