拋光液的性能直接影響到拋光后工件的表面質量，是雙面拋光的關鍵要素之一。拋光液一般包括超細的固體磨粒(如納米A120:及Si0:磨粒等)、表面活性劑以及氧化劑和穩(wěn)定劑等幾部分，其中固體磨粒產生切削作用，去除發(fā)生化學變化需要切除的部位，氧化劑產生化學腐蝕溶解作用，溶解切屑。在拋光過程中，拋光液中磨粒的種類、形狀、大小、濃度、化學成分、PH值、粘度、流速和流動的途徑都會對去除速度產生影響。

　　對不同材料的工件進行拋光時，所需要拋光液的成份、PH值也不盡相同同。PH值影響工件的表面質量和去除率表現(xiàn)在對磨料的分解與溶解度、被拋表面刻蝕及氧化膜的形成、懸浮度(膠體穩(wěn)定性)等方面，因此需要嚴格控制拋光液的PH值。當處于拋光氧化物時，拋光液一般選取Si0:作為磨料，PH值控制在10以上;而拋光金屬時，拋光液一般選用酸性的，保證PH值在較小的數(shù)值，以便保持極高的工件去除率。

磨粒按硬度可分為軟磨粒和硬磨粒兩類。常用的磨粒包括氧化鋁系、碳化物系、超硬磨料系和軟磨料系4類。拋光用磨粒需具有下列性能:

　　(1)磨粒形狀和尺寸均勻一致，保持在一定范圍;

　　(2)磨粒的熔點要比工件的熔點高;

　　(3)磨粒能適當?shù)仄扑椋骨腥凶冧h利;

　　(4)磨粒在拋光液中容易分散。

　　一般情況下，當磨粒硬度以及尺寸增加時，工件去除率增加，但是同時劃痕增加，工件的表面質量下降;而磨粒的尺寸過小時又容易產生凝聚成團的現(xiàn)象，增加工件表面劃痕。當拋光液中磨粒的濃度增加時，工件去除率也隨之增加，但當磨粒的濃度達到某一數(shù)值時，工件去除率也將停止增加，維持在某一常數(shù)，這種現(xiàn)象稱為材料去除飽和，但是由于磨粒濃度增加，工件表面的劃痕反而增加，表面質量下降。

　　研究拋光液的目的是為了找到去除率高、平面度好、膜厚度均勻性好的拋光液，達到機械作用于化學作用的最佳組合。另外，還需要考慮對拋光機的腐蝕性、易清洗性、廢料的處理費用及安全性等問題。

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